CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统
CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜Z大可以承重1000Lbs。与大多数管式炉配套使用时，可将设备置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一个7“的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验
质量流量控制系统厂家哪个好？质量流量控制系统厂家赛特瑞有双通通道质量流量控制系统、三通通道质量流量控制系统、四通通道质量流量控制系统、五通通道质量流量控制系统。
质量流量控制系统技术参数
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名称 |
双通道 |
三通道 |
四通道 |
五通道 |
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CVD化学气相沉积 |
工作温度：5~45ºC
重复精度: ±0.2%F.S. |
工作温度：5~45 ºC |
工作温度:5~45 ºC
重复精度: ±0.2%F.S. |
工作温度: 5~45 ºC |
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输入电源 |
AC 220V/50Hz单相 |
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功率 |
23W |
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PLC触摸屏 |
· CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上 · RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制
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机械压力表 |
· 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 · 量程:-0.1~0.15 MPa |
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针阀 |
316 不锈钢 |
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通气管道 |
· 内部连接管道为Φ不锈钢管 · 外部通气管道为Φ聚四氟管 |
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混气罐 |
Φ80X120mm |
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截止阀及配件 |
·316不锈钢针阀 Φ6mm 不锈钢管 |
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外形尺寸 |
600mm(L)x745mm(W)x700mm(H) |
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质量认证 |
CE认证 |
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质保期 |
一年质保期，终身维护 |
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