名称

双通道

三通道

四通道

五通道

CVD化学气相沉积
多通道质量流量控制系统
质量流量控制器

工作温度：5~45ºC
可达压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S

重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度：5~45 ºC
可达压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S
重复精度:±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度:5~45 ºC
可达压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S.

重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度: 5~45 ºC
可达压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制

输入电源

        AC 220V/50Hz单相

功率

        23W

PLC触摸屏

·  CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上 

· RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制

机械压力表

·  有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接

·   量程:-0.1~0.15 MPa 

针阀

316 不锈钢

通气管道

·  内部连接管道为Φ不锈钢管 

·  外部通气管道为Φ聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

·316不锈钢针阀 

 Φ6mm 不锈钢管

外形尺寸

 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期，终身维护