真空系统结构
真空系统结构
本设备真空系统采用二级抽气结构，由前级旋片机械泵、高真空分子泵机组、真空阀组、真空管路、金属波纹管、粉尘过滤器、真空测量组件、充放气组件及联锁保护单元组成，整套系统为全自动逻辑控制，为钼带加热炉膛提供洁净高真空环境，避免钼带高温氧化，满足材料烧结、退火、钎焊、脱气工艺需求。
真空管路采用 304 不锈钢无缝管路、CF 高真空法兰密封，泵组与炉体之间配置金属波纹管，隔绝泵体振动传递至炉腔；管路设置粉尘捕集过滤器，拦截工件挥发物与粉尘，保护分子泵转子不受污染。阀组包含预抽阀、高真空主阀、前级阀、充气阀、放气破坏阀，全部采用气动高真空挡板阀，阀门动作由 PLC 逻辑互锁，具备断电自动关阀保护，防止返油、大气倒灌进入炉膛损伤钼带加热元件与保温屏河南省政府...。
真空测量配置复合真空计，搭配皮拉尼规 + 电离规，分段采集低真空、高真空压力信号，实时上传控制系统，可在触摸屏上显示、记录真空曲线；系统设置真空异常报警、真空压力超限联锁，真空不达标时禁止升温。系统集成惰性气体回填支路，可接入高纯氩 / 氮气，支持真空保压、气氛置换工艺；炉门、法兰密封采用耐高温真空密封结构，炉体整体氦检，保证低漏率。
工作流程：常压状态下开启预抽回路，机械泵对炉膛粗抽至分子泵允许启动前级压力；自动切换至高真空回路，分子泵投入运行，继续抽至工艺设定真空度；升温保温阶段维持真空；工艺结束后，先关闭高真空主阀，分子泵停机，确认前级保护完成后，开启放气阀，炉膛复压至大气压。
精简版（放在参数表旁简短描述，适合参数页）
真空系统为机械泵 + 分子泵二级高真空机组，由真空阀组、不锈钢真空管路、减振波纹管、粉尘过滤器、复合真空测量组件、充放气回路及 PLC 联锁保护构成；采用 CF 法兰密封，气动阀程序互锁、断电自保护，可自动完成粗抽、高真空维持、工艺回填、复压全过程，实时监测炉膛压力，真空异常联动加热禁止，保障钼带高温加热环境。
