1200度快速升温管式炉STR TF100-12RTP硅片快速退火炉
| 电炉名称 |
1200度快速升温管式炉 |
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电炉型号 |
STR TF100-12RTP |
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电炉特点 |
升温速度快，蕞快50℃/s，炉体可滑动，可将炉体加热到指定温度，再滑动到有样品的地方达到超快速升温的目的 |
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炉管 |
石英管:100*1500mm 两边各放置一个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置 |
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加热元件 |
12根碘钨灯管 |
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炉膛材料 |
真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 |
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最高温度 |
≤1000℃ |
| 使用温度 | 900℃ |
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温区长度 |
240mm |
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升温速率 |
≤50℃/ S（可根据要求修改） |
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热电偶型号 |
K型 |
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控温方式 |
智能温控 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
德力西或浙江正泰等 |
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功率 |
12KW |
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电源电压 |
380V |
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相数 |
三相 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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开盖保护系统 |
当炉盖打开时继电器会自动切断主电源，有效地保证使用者的安全。 |
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真空系统 |
1、一般粗略抽真空、把炉管里面的气体赶出来用：双级真空泵，真空度可达0.098MPa左右。 2、VS-0.1真空系统能够把管式炉炉管内的真空度抽到0.1Pa（并配带有电阻真空计显示）。 3、VS高真空系统（该系统是由分子和机械泵组成）能够把管式炉炉管内的真空度抽到10-3Pa。 4、恒压泵（该系统可以把管内压力控制在-100.0KPa~100.0KPa）。 5、英国（INFICON）电容真空计（测量范围3.8x10-5-1125Torr、可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好、可选防腐类型PCG554） 6、您可在本公司选购一个冷的真空阱，以避免对真空泵造成污染、 |
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保修期 |
一年保修，长期技术支持 特别提示：1.耗材部分如炉膛、加热元件、测温元件、密封件、石英管，样品坩埚等不在保修期内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击
5.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
