2000度真空气氛石墨炉
2000度真空气氛石墨炉
用途:陶瓷的烧结、纯化、高温清洗。
1. 开炉取料型式:立式手动上出料
2. 主要技术参数
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有效温区尺寸 |
Φ200×300mm |
坩埚外径尺寸 |
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加热器 |
石墨桶发热体 |
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隔热屏材料 |
高纯石墨化软毡+硬毡 |
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装炉量 |
20Kg |
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温度 |
2000℃ |
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工作温度 |
1900℃ |
1500℃测温环测温 |
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加热功率 |
90KVA |
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升温速率 |
0~20℃/min(可调) |
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控温精度 |
±0.1% F S |
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极限真空度 |
5x10-3Pa |
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工作真空度 |
5x10-2Pa |
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压升率 |
<0.5Pa/h |
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工艺气氛 |
真空/氩气 |
单气浮子流量计 |
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炉内压力 |
压力0.02Mpa |
充气压力0.04Mpa |
3. 结构说明
该设备包含炉体、支撑宓募芴ㄗ榧⒙潘艋埂⒙派祷埂⒄婵障低场⑷瘸 ⑽露炔饬坑肟刂葡低场⒌缙刂葡低场⒗淙此低场⒀顾蹩掌低骋约肮ひ掌障低场�
3.1 炉体
炉体主要由腔体、上炉盖、下炉盖组成。
3.2.1腔体为双壁水冷结构,内外壁及法兰均选用优质304不锈钢,内表面精抛处理,外表面拉丝处理;腔体底部周围焊接有四套耳式支座,与架台上平面连接。
腔体设计接口如下:
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接口名称 |
规格 |
数量 |
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排气口 |
DN200 |
1 |
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压力变送器接口 |
G1/4” |
1 |
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真空电离规接口 |
PG15 |
1 |
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真空电阻规接口 |
PG15 |
1 |
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热电偶接口 |
Φ8 |
1 |
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双色红外测温 |
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1 |
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冷却水接口 |
G3/4” |
2 |
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工艺气氛接口 |
NPT3/8” |
1 |
3.2.2 上炉盖采用整块304不锈钢厚板加工而成, 内表面精抛处理,外侧中部加工环形水槽,使炉盖得到充分冷却。
上炉盖设计接口如下:
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接口名称 |
规格 |
数量 |
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电极引出接口 |
DN40 |
3 |
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工艺气氛接口 |
NPT3/8” |
1 |
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放气口 |
KF16 |
1 |
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冷却水接口 |
G3/4” |
2 |
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热电偶接口 |
Φ8 |
1 |
3.2.3 下炉盖采用整块304不锈钢厚板加工而成, 内表面精抛处理,外侧中部加工环形水槽,使炉盖得到充分冷却;下炉盖底部焊接有连接座,与升降机构连接。炉门锁紧机构采用锁紧环形式,由一体加工的锁紧环本体、Airtac标准气缸、缓冲阀、限位轴承等组成,确保工艺气氛烧结的安全运行。
3.2 炉门锁紧机构
3.3 真空系统
真空系统主要由真空排气系统和真空检测系统组成,包括真空泵、真空阀门、真空计、真空规管、真空接头、真空波纹管、真空管道以及真空密封件等组成。
3.4.1真空排气系统
3.5.2真空检测系统
2000度真空气氛石墨炉热场主要由炉膛、加热器、料架等组成。
3.4 热场结构
3.6.1 加热炉膛
加热器采用表面负荷小,使用寿命长的石墨板式结构;它沿圆周方向均布在侧屏内部,连接方式为星形结构;3.6.2加热器
加热器电极采用上引出结构,通过上炉盖的电极法兰与水冷式铜电极连接,该引出结构可以使加热器保持自然悬垂状态,加热器下方留有足够的空间。
3.5 温度测量与控制系统
3.7.2温度控制系统中,热电偶将信号传送给温控仪,按事先设定好的工艺曲线控制升温、保温、降温等过程 ,控温精度为±0.1% F S。温控仪上可实时显示设定温度与设计温度,且与PLC保持通讯,设定温度与设计温度在上位机的控制画面也会实时显示,方便操作者随时掌握设备工作状态。3.7.1 温度控制:1100℃K型热电偶测温,超过1100℃热偶拉出,双色红外开始测温。
3.6 电气控制系统
3.8.1 电控柜内部选用德国施耐德、日本和泉等低压电器控制元器件组成工业炉控制系统,稳定可靠;
3.8.2除了取料装料需要人工搬运外,该控制系统可实现真空系统控制与温度控制的全自动运行,避免人为操作失误,保障设备安全运行;
3.8.3真空运行状态、冷却水状态、实时与历史温度曲线、加热电流、加热电压、加热功能等参数可通过上位机实时监控并直观显示;
3.8.4自动控制程序与低压电器回路中均设计有必要的互锁控制,设备运行过程中如果出现了诸如超温、超压、断水、短路、断路等异常现象时,会发出声光报警提醒操作人员及时处理故障,并且在上位机上显示相应故障信息;同时控制系统会根据故障的危险等级执行必要的保护程序,及时切断加热电源,***设备安全运行。
3.8.5电器控制系统除了具有自动控制功能外,同时提供了手动操作界面,这有利于材料烧结工艺的开发,给予科研人员更大的自由度。
3.7 冷却水系统组成
冷却水系统主要由不锈钢分水器、水温及水流量传感器、水压表、不锈钢球阀、不锈钢管道过滤器、尼龙水管、水接头等组成。
该系统具有水压低报警、断流报警、水温高报警功能;冷却水水管选用进口高压橡胶管,水接头选用Airtac快插接头。
冷却水系统还配有应急水路接口,配有单向阀、电磁阀等,当主水路供水异常中断后,安装在应急水路的电磁阀自动打开,应急水路开始供水,在主水路与应急水路上都配有单向阀,可避免水路串流。
















