多功能粉体包覆磁控镀膜仪：旋转管式炉+磁控溅射+多路混气
多功能粉体包覆磁控镀膜仪
多功能粉体包覆磁控镀膜仪是有多功能粉体包覆磁控镀膜仪：旋转管式炉+磁控溅射+多路混气组成的专用设备。
核心组成模块
旋转管式炉
功能：实现粉体的动态翻滚和加热
特点：确保粉体在镀膜过程中均匀分散，避免团聚
磁控溅射系统
功能：产生高能靶材原子/离子，在粉体表面沉积纳米级薄膜
作用：提供包覆层的物质来源
多路混气系统
功能：精确控制工艺气氛（Ar、O?、N?等）
作用：调节等离子体状态和反应过程
应用领域
电池材料：正极/负极材料表面包覆（提升循环稳定性）
粉体冶金：金属粉末表面改性
催化材料：活性组分负载
电子材料：导电/绝缘层包覆
粉体包覆磁控镀膜仪是通过粉体在溅射腔室内的旋转，以达到粉体表面均勺包覆的效果。
腔室可旋转、倾斜，能快速出料。粉体包覆是指将一种或多种粉体颗粒投入到包覆设备中,通过物理或化学方法形成一层覆盖在颗粒表面的物质。粉体包覆的目的可以是改变颗粒表面的性质、增加颗粒的稳定性、控制颗粒的释放速率等。
该设备主要用于粉体材料、颗粒材料的包覆制备,用于改善粉体或颗粒的表面性能、分散性能、稳定性能，赋予其导电性、耐腐蚀性等新功能。
多功能粉体包覆机应用领域：
1.新能源材料：
用于锂电池正负极材料（如钴酸锂、硅碳负极）的表面包覆，提升导电性、循环稳定性及anquan性。燃料电池催化剂的表面改性，增强催化活性和抗腐蚀性。
2.电子陶瓷与半导体：
对陶瓷粉体（如Al₂O₃、SiC）进行金属或绝缘层包覆，改善介电性能或导热性。半导体粉体（如硅粉）的钝化处理，减少表面缺陷。
3.生物医疗：
粉末的缓释涂层（如聚合物或金属薄膜），控制yaowu释放速率。生物相容性涂层（如羟基磷灰石）用于骨修复材料。
4.航空航天：
高温合金粉体（如钛合金）的表面抗氧化涂层，提升耐高温性能。隐身材料的吸波涂层（如碳粉包覆磁性薄膜）。
5.化工与催化：
催化剂载体（如分子筛、活性炭）的金属纳米颗粒包覆，提高反应效率。防团聚涂层处理，改善粉体流动性。
多功能粉体包覆机电炉特点：
1.高均匀,致密性；
2.广泛材料适应性；
3.可控性强；
4.环保与anquan性；
5.高效批量处理；
6.界面结合力强；
配备红外加热模块，可实现快速升温
多功能粉体包覆机技术参数：
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电炉名称 |
多功能粉体包覆机 |
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电炉型号 |
STR-MSH150-I-RF-Q |
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控制系统 |
显示模式 |
7英寸触控屏 |
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磁控溅射 |
靶材尺寸 |
2英寸 |
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靶枪类型 |
标准磁场 |
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适合靶材 |
非磁性金属靶材 |
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溅射类型 |
直流溅射 |
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溅射真空 |
0.5Pa |
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溅射速率 |
以铜为例：7nm/min |
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膜层厚度 |
≦1微米 |
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膜均匀性 |
±3% |
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样品粒度 |
zui佳尺寸范围： |
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样品总量 |
≦500g |
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烘烤系统 |
烘烤温度 |
≦500℃任意可设置 |
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升温速率 |
≦50℃/S任意可设置 |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温模式 |
可编程，程序控温 |
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旋转升降 |
旋转速度 |
0-100RPM任意可设置 |
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升降角度 |
0-60°任意可设置 |
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等离子体 |
射频功率 |
150W(另有：300W,500W,600W,1000W,1500W多种规格可选购） |
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功能效用 |
粉体包覆前，可先对粉体进行表面刻蚀，改性，增强包覆层附着力。 |
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供气系统 |
气体种类 |
可通：氩气、氮气、氧气等多种气体 |
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气体控制 |
采用质量流量控制器对气体进行流量控制、气体计量。 |
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真空系统 |
前级泵 |
通常为双极旋片泵，客户可根据需要选购其它类型前级泵。 |
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分子泵 |
通常为国产分子泵，客户可根据需要选购其它类型分子泵。 |
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真空计 |
复合真空计，量程为：10-5Pa～105Pa |
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水冷机组 |
zui大流量10L-16L，zui大扬程10-25M |
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供电电源 |
AC220V/50Hz |
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设备尺寸 |
1800*620*1050 |
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包装尺寸 |
1900*720*1150 |
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包装重量 |
200kg |
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随机配件 |
1、说明书1本 |
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2、随机配件1套 |
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3、配件清单1份 |
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