RTP红外灯管加热管式炉：1000快速热处理管式炉
RTP红外灯管加热管式炉（Rapid Thermal Processing Tube Furnace）是一种采用高功率红外灯管（通常为卤素灯或短波红外灯）作为热源，通过辐射加热实现样品极速升降温的精密热处理设备。
其核心原理是利用红外灯管的瞬间大功率输出，直接对样品进行非接触式加热，配合滑轨式炉体或样品台移动设计，实现秒级升降温（可达50℃/s），远快于传统电阻丝加热方式。
快速冷却机制：通过将炉体滑动移开或样品拉出加热区，结合风冷/水冷设计，使样品快速降温，满足快速退火（RTA）工艺需求。
赛特瑞RTP红外灯管加热管式炉配有石英腔体和真空法兰，采用红外灯管加热，升温速度可达50℃/秒，30段可编程序，PID自动控制，它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。
应用领域：
可在真空、气氛环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
主要应用领域
半导体工业：离子注入后退火、硅化、扩散、晶化
光伏产业：太阳能电池片快速热处理
新材料研发：石墨烯、碳纳米管、二维材料生长
薄膜技术：薄膜沉积、致密化处理
科研实验：大学及工矿企业实验室的小批量快速热处理
主要技术参数：
| 电炉名称 | RTP快速退火炉 |
| 电炉型号 | STR RTP80-12M |
| 最高温度 | 1000℃ |
| 工作温度 | 900℃ |
| 炉管材质 | 石英管单头 |
| 石英管 | Φ60/Φ80/Φ100/Φ120/Φ150mm 可选(可根据客户需求定制) |
| 温区长度 | 200/300/400mm 可选(可根据客户需求定制) |
| 炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
| 加热元件 | 红外灯管 |
| 升温速率 | 0-50℃/S |
| 热电偶 | N型 |
| 密封方式 | 不锈钢密封法兰（单头或双头密封可选） |
| 炉膛结构 | 开启式 |
| 滑动方式 | 可选炉体滑动/法兰滑动 |
| 真空性能 | 默认0.098MAP(可增配其他真空泵获得不同真空度) |
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