STR-TF60-11V流化床立式管式炉:小型流化床管式炉
STR-TF60-11V流化床立式管式炉为小型流化床管式炉,流化床立式管式炉,适用于CVD工艺,如碳化硅涂层、陶瓷衬底导电性测试、二维材料生长、ZnO纳米结构可控生长、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等实验。
流化床立式管式炉炉管为高纯石英管,炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔径可单独定制。粉末可放在多孔石英板上,气体可从炉管下端通入,通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域,进行沉积实验 。属于立式管式炉的一种。
STR-TF60-11V流化床立式管式炉主要参数:
电炉名称 | 小型流化床立式管式炉 |
产品型号 | STR-TF60-11V |
加热区长度 | 400mm(可根据客户需求定制) |
炉管尺寸 | 直径60*1000mm(可根据客户需求定制) |
炉管材质 | 高纯石英管 |
工作温度 | ≦1100℃ |
测温元件 | S型热电偶测温 |
升温速率 | 0-20ºC/min |
温控系统 |
1. 采用PID方式调节控温,可设置30段升降温程序 2. 控温精度±1ºC。 3. 具有过温保护、断偶保护 4. 仪表具有温度自整定的功能 5. 触摸屏操控,数据可储存可拷贝 |
加热元件 | 高温硅碳棒 |
炉膛材料 | 采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡 |
法兰 | 不锈钢真空法兰,拆卸方便,下部法兰为水冷法兰 |
筛网 | 304不锈钢筛网,孔为0.2mm,筛网可更换 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好 |
流量计 | 二路浮子流量计,单独控制 |
流化区域 |
1. 反应气体均匀地通过反应区 2. 固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内 3. 炉体设计为开启式,当实验结束后,可将炉体打开,拿出石英管,取出反应后的颗粒。 注意:在通入气体悬浮起样品颗粒时,也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区,所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量 |
测温系统 | 上部法兰预留测温孔,一支K型热电偶深入管内,实时显示管内温度,热偶位置可移动 |
壳体结构 | 双层壳体结构,开启式 |
炉体结构 |
立式结构,底部加轮子,方便移动 |