1200度双炉体可滑动管式炉:双炉体滑动管式炉
双炉体滑动管式炉为实验室用1200度双炉体可滑动管式炉,滑道式管式炉又称快速退火炉,采用可开启是炉膛结构,炉底安装滑轨,可移动炉体实现快速升降温,两端不锈钢密封法兰密封,配合我司的真空系统和气路系统,可实现CVD工艺。
滑道管式炉实拍图应用领域:
可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
主要特点:
1)、双炉、双层钢结构,带冷却风扇。
2)、炉底装有一对滑轨,可以手动左右移动炉子。
3).、安装真空法兰和机械压力表,可立即使用。
4)、滑轨长度约1500mm。
主要技术参数:
电炉名称:1200度双炉体可滑动管式炉
电炉结构:双炉体、滑动
炉膛结构:开启式
电炉型号:STR MTF60-12
最高温度:1200℃
工作温度:1100℃
石英管:Φ50/Φ60/Φ80/Φ100/Φ120/Φ150/Φ200/Φ230mm可选
加热区长度:200+300mm,其他尺寸可选
炉膛材料:氧化铝多晶纤维
供电电源:110/220V 50/60HZ
升温速率:0-20℃/min
控温精度:±1℃
测温元件:K型热电偶
加热元件:含钼电阻丝
密封方式:不锈钢密封法兰
滑动方式:手动或电动左右滑动
底部滑轨:镀铬钢双滑轨
更多规格可按照需求定制
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。