炉体可滑动管式炉

1200度双温区滑动管式炉为实验室用炉体可滑动管式炉

炉体可滑动管式炉又称快速退火管式炉，采用可开启是炉膛结构，炉底安装滑轨，可移动炉体实现快速升降温，两端不锈钢密封法兰密封，配合我司的真空系统和气路系统，可实现CVD工艺。

滑道管式炉应用：

可炉体可滑动管式炉在真空、气氛环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

技术参数：

电炉名称：双温区炉体可滑动管式炉

电炉结构：炉体可滑动、可开启、双温区

电炉型号：STR MTF60-1200

设计温度：1200℃

工作温度：1100℃

石英管：Φ50/Φ60/Φ80/Φ100/Φ120/Φ150/Φ200/Φ230mm可选

加热区长度：400、500mm可选

炉膛材料：氧化铝多晶纤维

供电电源：110/220V 50/60HZ

升温速率：0-20℃/min

控温精度：±1℃

热电偶：K型

加热元件：含钼电阻丝

密封方式：不锈钢密封法兰

炉膛结构：开启式

滑动方式：手动或电动左右滑动

更多规格可按照需求定制

1200℃双炉体滑动管式炉

1200℃双独立温场滑轨炉为1200℃双炉体滑动管式炉，1200℃双独立温场滑轨炉具有两个独立滑动炉体和独立控温温场。操作时可将实验需要的恒定的温场直接推到样品处，使样品能快速得到工艺温度，同样也可将温场直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。这款设备可选配等离子体发生装置，是二维材料的通用设备。

主要技术参数：

电炉名称：1200℃双炉体滑动管式炉

电炉结构：双炉体、滑动

设计温度：1200℃

连续工作温度：≤1100℃

升温速率：≤20℃/min

加热区：230+230mm

恒温区：100+100mm

加热元件：电阻丝

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度：±1℃

炉门结构：开启式

炉管材质：高纯石英管

炉管尺寸：Φ60×1200mm

设备尺寸：390*280*370mm（单个炉子）、1300*400*560mm（炉子+滑轨）

法兰结构

进气结构：配有独立的卡套进气口，机械式压力表及精密截止阀：

排气结构：配有独立的排气口和球阀

供气系统：（选配）

根据工艺需求选择一种或者多种气体混合配比进气：可选用浮子流量计或质量流量计控制进气流量

真空系统：（选配）

可选用真空组件或真空机组与设备匹配抽真空：抽气速率：2L/S

安全保护：

本设备自带超温和断偶报警

如实验工况为常压可选配加装安全阀，防止管内出现过高正压造成石英管爆裂

质保

主机质保1年，长期技术支持：本设备到货后可联系我司安排专业售后人员上门或远程安装调试与培训

特别提示：

1、耗材部分如石英件、热电偶、密封圈等不在保修范围内

2、因工艺问题（如使用腐蚀性气体或强酸强碱类物质）造成的损害不在保修范围内：注意事项

石英管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）：由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议采购压力低于0.02MPa

如实验为常压工况，右端法兰泄压阀建议常开。以防管内形成过高正压（如炉管破裂，法兰飞出等）