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小型碳化炉:箱式气氛炉
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小型碳化炉:箱式气氛炉

小型碳化炉有1200度低温碳化炉、1600度高温碳化炉,配有多路供气系统,炉膛内氧含量≤10ppm。废气出口端设置水冷却装置,保护出气阀门的密封。

设备型号 高温碳化炉 中低温碳化炉
设计温度 1750℃ 1250℃
工作温度 ≤1650℃ ≤1200℃
炉膛尺寸 844 844
升温速率 3~5℃/min 3~5℃/min
温度均匀性 ±3℃ ±3℃, ±5℃
温区个数 3~5个 5~10个
发热元件 石墨 硅碳棒
炉内压力测量点 2个 2个
废气排放口 1个 1个
温度控制 PID温度控制仪表 PID温度控制仪表

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