小型碳化炉:箱式气氛炉
小型碳化炉有1200度低温碳化炉、1600度高温碳化炉，配有多路供气系统，炉膛内氧含量≤10ppm。废气出口端设置水冷却装置，保护出气阀门的密封。
| 设备型号 | 高温碳化炉 | 中低温碳化炉 |
|---|---|---|
| 设计温度 | 1750℃ | 1250℃ |
| 工作温度 | ≤1650℃ | ≤1200℃ |
| 炉膛尺寸 | 844 | 844 |
| 升温速率 | 3~5℃/min | 3~5℃/min |
| 温度均匀性 | ±3℃ | ±3℃, ±5℃ |
| 温区个数 | 3~5个 | 5~10个 |
| 发热元件 | 石墨 | 硅碳棒 |
| 炉内压力测量点 | 2个 | 2个 |
| 废气排放口 | 1个 | 1个 |
| 温度控制 | PID温度控制仪表 | PID温度控制仪表 |
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