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气体配比器系统
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气体配比器系统

S3F是一款手动经济型的气体配比器系统 流量计由高精密针阀控制流量 主要运用精度要求不高的场合 如管式炉气氛保护时气体流量控制 大气环境检测与分析设备 化工、石化、冶金、光纤熔炼 金属焊接惰性气体配比混合 cvd pecvd系统 高温加热惰性气体流量控制等

主要技术参数:

电炉型号

3F气体配比器系统

流量计类型

浮子流量计

流量计管芯

石英玻璃

量程范围

6-60ml 10-100ml 16-160ml 30-300ml 60-600ml 0.1-1L 0.16-1.6L 0.3-3L

其他量程范围可定制

气路管道材质

316不锈钢

流量计外壳

有机玻璃

气体种类

多种可选(腐蚀或有毒气体除外)

进气出气接口

3mm  6mm 1/8  1/4 等卡套接头(其他接口可选配转接头)

阀门类型

高精密针阀

压力范围

≤0.3 MPa

温度范围

≤120℃

精度等级

4级(读数的4%)

混气管

50ML

外形尺寸

170×400×380或者600×600×650

设备重量

12kg

6-10 1200

8-10  1200

30-10 2000

8-12 1600

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