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实验室蒸发升华管式高温炉：双炉体滑动管式炉
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实验室蒸发升华管式高温炉：双炉体滑动管式炉

实验室蒸发升华管式高温炉为双炉体滑动管式炉

实验室蒸发升华管式高温炉是一款小型的双炉体滑动管式炉，炉管为Φ60x1600mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器加热温度可以达到1200℃。两个炉体可在双向导柱滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速升降温的需求。同时可选配电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。

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