小型双炉体滑道管式炉:配三路质子流量计混气室
小型双炉体滑道管式炉同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建CVD系统。
该设备可用于石墨烯制备、硫化物制备等。
小型双炉体滑道管式炉技术参数：
|
高温管 式 炉 |
产品型号 |
STR-OTF60-1200 |
|
|
炉管材质 |
高纯石英 |
||
|
炉管直径 |
60mm |
||
|
炉管长度 |
1400mm |
||
|
加热区长 |
300mm |
||
|
恒温区长 |
200mm |
||
|
工作温度 |
0～1100℃ |
||
|
控温精度 |
±1℃ |
||
|
控温模式 |
30段或50段程序控温 |
||
|
显示模式 |
高亮数码管数字显示 |
||
|
密封方式 |
304不锈钢真空法兰 |
||
|
法兰接口 |
1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头 |
||
|
可抽真空 |
4.4E-3Pa |
||
|
供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
||
|
供 气 系 统 |
产品型号 |
STR-3Z |
|
|
气体通道 |
3通道 |
||
|
测量部件 |
气体质量流量计 |
||
|
测量量程 |
A通道：0～100SCCM H2气 B通道：0～300SCCM N2气 C通道：0～500SCCM Ar气 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。 可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 |
||
|
测量精度 |
±1.0%F.S |
||
|
管道耐压 |
3MPa |
||
|
工作压差 |
50～300KPa |
||
|
连接管道 |
304不锈钢 |
||
|
控制阀门 |
304不锈钢针阀 |
||
|
接口规格 |
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 |
||
|
供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
||
|
排 气 系 统 |
机械泵 |
旋片泵 |
|
|
抽气速率 |
4L/S |
||
|
排气接口 |
KF16 |
||
|
真空测量 |
电阻规 |
||
|
极限真空 |
1.0E-1Pa |
||
|
供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
||
|
抽气接口 |
KF16 |
||
