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1100℃小型双炉体滑动管式炉
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1100℃小型双炉体滑动管式炉

1100℃小型双炉体滑动管式炉为实验室用小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ60×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,加热温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,升温速率可达100℃/min.蕞大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的,将炉体加热到目标温度,然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后,滑动炉体,使样品暴露在加热区外,来实现快速冷却。

同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。

电炉特点:

1、两个炉体采用开启式设计,便于观察烧结或更换炉管

2、炉子加热温度可达1200℃,每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm

3、一个滑动轨道安装在两炉体底部,可手动推动炉体滑动

4、采用加长石英炉管,炉管两端配有不锈钢密封法兰,可预抽真空可通气氛



主要技术参数

电炉名称

1100℃小型双炉体滑动管式炉
电炉型号 STR-MTF60-11D

总功率

2.5KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, (需要20A的空气开关)

设计温度

1200℃

工作温度

1100℃

加热&冷却速率

  加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 

10°C/sec (150°C - 250°C);  

7°C/sec (250°C - 350°C);  

4°C/sec (350°C - 500°C);  

3°C/sec (350°C - 550°C);

  2°C/sec (550°C - 650°C);  

1°C/sec (650°C - 800°C); 

 0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷却速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);

1.5°C/sec (600°C - 500°C);

1°C/sec (500°C - 400°C);

0.5°C/sec (400°C - 300°C);

注意: 蕞大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的,将炉体加热到目标温度,然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后,滑动炉体,使样品暴露在加热区外,来实现快速冷却

加热区长度

每个炉体的加热区为200mm

恒温区

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加热元件

掺钼铁铬铝合金

炉管

高纯石英管尺寸:O.D650mm xL1400 mm

温度控制系统

两个炉体都采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序。
控温仪表操作视频
设置有超温和断热偶报警
包括2个K型热电偶(已安装在炉体上)

真空法兰

仪器中包含一对不锈钢密封法兰,法兰上安装有机械压力表
可选购KF25接口的法兰(提高抽气速率),防腐型真空计

滑轨长度

1200mm

真空度

0.098Mpa

可选

可选择电动滑轨,更好的控制快速升降温速率
1-9通道质量流量计(MFC)控制的供气系统
100W-500W的射频等离子源
这些模块与管式炉配合可搭建起等离子增强的TCVD系统

质保期

一年质保期,长期技术支持(不包括炉管、密封圈和加热元件)

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa
由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全
进入炉管的气体流量需小于200SCCM
当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态


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