1100℃小型双体滑动管式炉
小型双炉体滑道管式炉同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建CVD系统。
该小型双炉体滑道管式炉可用于石墨烯制备、硫化物制备等。
双体滑动管式炉主要参数：
电炉名称：1100℃双体滑动管式炉
产品型号:STR-TF60-12DM
电炉结构：双体、滑动、开启式
炉管材质:高纯石英
炉管直径:60mm
炉管长度:1400mm
加热区长:250mm
恒温区长:150mm
工作温度:0～1100℃
控温精度:±1℃
控温模式:30段程序控温
显示模式:高亮数码管数字显示
密封方式:304不锈钢真空法兰
法兰接口:1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头
可抽真空:4.4E-3Pa
供电电源:AC:220V 50/60Hz
滑动方式：手动
供气系统
产品型号:G-3Z
气体通道:3通道
测量部件:气体质量流量计
测量量程:"A通道：0～100SCCM H2气
B通道：0～300SCCM N2气
C通道：0～500SCCM Ar气
（备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。）
测量精度:±1.0%F.S
管道耐压:3MPa
工作压差:50～300KPa
连接管道:304不锈钢
控制阀门:304不锈钢针阀
接口规格:进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
供电电源:AC:220V 50/60Hz
真空系统：
机械泵:旋片泵
抽气速率:4L/S
排气接口:KF16
真空测量:电阻规
极限真空:1.0E-1Pa
供电电源:AC:220V 50/60Hz
抽气接口:KF16
小型双体滑动管式炉是一种高效的热处理设备，广泛应用于材料科学、半导体制造和其他工业领域。
小型双体滑动管式炉采用双炉体滑动设计，双层壳体结构，并带有风冷系统，以保持炉膛的温度稳定。炉膛材质为高纯多晶氧化铝纤维，这种材料具有良好的保温性能和高反射率，能够均匀分布热量。两个炉体可以在滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华及薄膜沉积。通过炉体的滑动，可以实现对样品的快速加热。
应用注意事项
●炉管内气压不可高于0.02MPa
●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
●进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
●石英管的长时间使用温度＜1100℃
●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力
