2路质子供气系统：实验室用小型气体配比器
2路质子气体配比器是一种用于精确控制和混合多种气体流量的设备，广泛应用于需要特定气体比例混合的环境中，如真空管式炉、气氛炉。2路质子气体配比器具备多个气体测量计和控制范围，气路管道通常采用304不锈钢材质，气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头，方便连接且不易泄漏，确保系统的密封性和耐用性
应用范围：
该2路质子气体配比器主要用于气体流量测试，并能够按比例混合气体，为真空管式炉或气氛炉营造特定要求的气氛环境。
GMF-2Z质子供气系统为实验室用小型气体配比器，该2路质子供气系统是一种可控制两种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。
该2路质子供气系统设备与真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
主要技术参数：
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设备型号 |
GMF-2Z |
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质量流量控制器 |
工作电压： |
185~245V 50HZ |
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最大输出功率： |
18W |
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流量计标准量程： |
100sccm，200sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选） |
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工作温度： |
5~45℃ |
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工作压差： |
0.1~0.5MPa |
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最大压力： |
3MPa |
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准确度： |
±1.5% FS |
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机械压力表 |
测量范围： |
-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
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针阀 |
316不锈钢 |
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混气罐 |
Φ80×120mm |
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截止阀 |
Φ6mm”316不锈钢针阀 |
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尺寸 |
600×600×650 mm |
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