滑膛管式炉:滑轨式管式炉
滑动快冷管式炉的简介
滑动快速热冷管式炉又称做滑体管式炉、滑膛管式炉、滑轨式管式炉、RTP快速退火炉(RTP红外灯管加热管式炉)、炉膛可移动式管式炉。
滑膛管式炉是一种新型的加热电炉设备,可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
滑动快冷管式炉采用滑动快冷技术,具有快速冷却的特点,能够在高温实验过程中快速冷却样品,为实验提供更加准确的实验数据和更好的实验效果。
滑动快冷管式炉的应用领域
可在真空不同气氛空气不同环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:气氛还原、cvd薄膜沉积,真空退火等等!
滑动快冷管式炉的组成结构
(1).双层钢结构,带冷却风扇。
(2).炉底装有一对滑轨,可以手动左右移动炉子。
(3).安装真空法兰和机械压力表,可立即使用。
滑动快冷管式炉主要由以下几个部分组成:
炉管:
炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料,具有高强度、耐高温、耐腐蚀等特点,能够承受高温和高压。
滑动快热、快冷系统:
为取得较快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得较快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的炉子。
抽真空系统:
包括真空泵和真空测量系统,用于抽真空和保持高真空度。
控制系统:
可选择单设定点或30段可编程控制器。精度为 ±1°C°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构,可将外表温度降到常温。均温区长,操作简便,密封可靠,综合性能指标较高;
型号规格技术参数
电炉型号 | MTL1200-1200-I | MTL1200-1200-II | MTL1200-1200-III |
功率 | 3.6KW | 3.6KW | 3.6KW |
炉管尺寸(OD)(mm) | Dia 60(OD) X1500mm | Dia80(OD)X1500mm | Dia100(OD)X1500mm |
外形尺寸 | 1800X600X850(mm) | 1800X600X850(mm) | 1800X600X850(mm) |
炉管类型 | 石英管 | ||
电源电压 | 220V | ||
相数 | 单相 | ||
加热元件 | 电阻丝(可选配瑞典Kantdal A1 进口电阻丝) | ||
滑动方式 | 手动或电动 |