RTP红外灯管加热管式炉：1000快速热处理管式炉

RTP红外灯管加热管式炉（Rapid Thermal Processing Tube Furnace）是一种采用高功率红外灯管（通常为卤素灯或短波红外灯）作为热源，通过辐射加热实现样品极速升降温的精密热处理设备。

其核心原理是利用红外灯管的瞬间大功率输出，直接对样品进行非接触式加热，配合滑轨式炉体或样品台移动设计，实现秒级升降温（可达50℃/s），远快于传统电阻丝加热方式。

快速冷却机制：通过将炉体滑动移开或样品拉出加热区，结合风冷/水冷设计，使样品快速降温，满足快速退火（RTA）工艺需求。

赛特瑞RTP红外灯管加热管式炉配有石英腔体和真空法兰，采用红外灯管加热，升温速度可达50℃/秒，30段可编程序，PID自动控制，它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。

应用领域：

可在真空、气氛环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

主要应用领域

半导体工业：离子注入后退火、硅化、扩散、晶化

光伏产业：太阳能电池片快速热处理

新材料研发：石墨烯、碳纳米管、二维材料生长

薄膜技术：薄膜沉积、致密化处理

科研实验：大学及工矿企业实验室的小批量快速热处理

主要技术参数：