1100℃小型双炉体滑动管式炉
1100℃小型双炉体滑动管式炉为实验室用小型的双炉体滑动管式炉，炉管为Φ60×1400mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，加热温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热，升温速率可达100℃/min.蕞大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的，将炉体加热到目标温度，然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后，滑动炉体，使样品暴露在加热区外，来实现快速冷却。
同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
电炉特点：
1、两个炉体采用开启式设计，便于观察烧结或更换炉管
2、炉子加热温度可达1200℃，每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm
3、一个滑动轨道安装在两炉体底部，可手动推动炉体滑动
4、采用加长石英炉管，炉管两端配有不锈钢密封法兰，可预抽真空可通气氛
主要技术参数
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电炉名称 |
1100℃小型双炉体滑动管式炉
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| 电炉型号 | STR-MTF60-11D |
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总功率 |
2.5KW |
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电压 |
AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, （需要20A的空气开关） |
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设计温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
1100℃ |
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加热&冷却速率 |
加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C); 7°C/sec (250°C - 350°C); 4°C/sec (350°C - 500°C); 3°C/sec (350°C - 550°C); 2°C/sec (550°C - 650°C); 1°C/sec (650°C - 800°C); 0.5°C/sec (800°C - 1000°C); 冷却速率: 15°C/sec (1000 - 950°C); 10°C/sec (950°C - 900°C); 7°C/sec (900°C - 850°C); 4°C/sec (850°C - 750°C); 2°C/sec (750°C - 600°C); 1.5°C/sec (600°C - 500°C); 1°C/sec (500°C - 400°C); 0.5°C/sec (400°C - 300°C); 注意: 蕞大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的，将炉体加热到目标温度，然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后，滑动炉体，使样品暴露在加热区外，来实现快速冷却 |
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加热区长度 |
每个炉体的加热区为200mm |
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恒温区 |
60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C) |
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加热元件 |
掺钼铁铬铝合金 |
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炉管 |
高纯石英管尺寸：O.D650mm xL1400 mm |
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温度控制系统 |
两个炉体都采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序。 控温仪表操作视频 设置有超温和断热偶报警 包括2个K型热电偶（已安装在炉体上） |
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真空法兰 |
仪器中包含一对不锈钢密封法兰，法兰上安装有机械压力表 可选购KF25接口的法兰（提高抽气速率)，防腐型真空计 |
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滑轨长度 |
1200mm |
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真空度 |
0.098Mpa
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可选 |
可选择电动滑轨，更好的控制快速升降温速率 1-9通道质量流量计（MFC）控制的供气系统 100W-500W的射频等离子源 这些模块与管式炉配合可搭建起等离子增强的TCVD系统 |
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质保期 |
一年质保期，长期技术支持（不包括炉管、密封圈和加热元件） |
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使用注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 进入炉管的气体流量需小于200SCCM 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 |
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