RTP快速退火炉：STR RTP140-10-450管式快速升温炉
RTP快速退火炉：STR RTP140-10-450管式快速升温炉
RTP快速退火炉采用红外线加热管加热，造型新颖结构合理，炉体（或炉管）可以自由滑动，可实现快速升降温。炉管内尺寸130MM，可以直接放下5英寸的材料。试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完成生产工艺的同时，也大大降低了间接污染试样的可能性。
主要用途范围：
用于半导体器件研发及生产等领域，可满足离子注入后的快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火，氧化物生长以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。
RTP快速退火炉主要功能和特点：
1、可视化7寸触摸屏，设定数据和操作都是图文界面，操作方便；
2、炉体配备高精度移动平台，运行平稳无抖动；
3、炉管可自由移动，且密封法兰之间用搭扣压紧连接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能；减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能；当炉管移出炉膛时冷确风扇启动，可实现试样的迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验要求；
4、炉膛采用多晶纤维真空吸附制成，吸热小，保温性能好。
5、采用红外线加热管加热，使用寿命可达2000小时，升温速度快，加热温度可达1000℃。
6、预留了真空、气路快速接口，可配合我司真空系统、混气系统使用；
7、设置超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠。
主要技术参数：
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电炉名称 |
RTP快速退火炉 |
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产品型号 |
STR RTP140-10-450 |
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炉体结构 |
双层壳体结构，炉体可滑动、单头密封法兰 |
| 设计温度 | 1000℃ |
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使用温度 |
连续工作温度≤900℃ |
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加热元件 |
红外灯管 |
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测温元件 |
N型热电偶（可选配内置热电偶，实时监测加热物料温度） |
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升温速度 |
推荐≤20℃/ sec，蕞快升温速度50℃/sec，建议＜100℃/min |
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降温速度 |
200℃以上≤25min,自然或风冷 |
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恒温区 |
加热区长度200mm |
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炉膛材质 |
真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 |
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炉管材质 |
高纯石英管；Φ140*450mm，有效试样空间：5英寸 |
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密封法兰 |
不锈钢快速挤压密封法兰 |
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温控系统 |
温度控制系统采用触摸屏操作，人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能； 可编30段升降温程序；控温精度±1℃ |
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显示模式 |
9寸液晶触摸屏显示 |
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尺寸重量 |
设备：650*1200*600mm （深*宽*高）； 净重 110kg |
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机器电源 |
AC380V，50/60Hz；额定功率15kw |
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可选真空 |
≤50Pa（常规机械泵+指针压力表），≤10Pa（高配机械泵+数显压力表） |
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可选混气 |
多通道浮子、质量混气系统 |
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选购件 |
炉架，各种石英、刚玉坩埚，石英管，高温手套 |
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