1800度真空石墨碳管炉

真空石墨碳管炉

该真空石墨碳管炉将真空、高温烧结结合在一起，适用于粉末冶金、功能陶瓷等新材料的真空高温烧结工艺，如应用于透明陶瓷、工业陶瓷等金属以及由难熔金属组成的合金材料的真空烧结以及陶瓷材料碳化硅等材料的高温烧结。

卧式或立式圆筒形炉壳，内衬石墨纤维或石墨毡保温层，中央插装石墨发热管（厚壁圆管或方管），两端水冷法兰+密封圈。

型号规格参考：

极限温度：2200 ℃（常用2000 ℃）

恒温区：±5 ℃/100 mm（立式），±5 ℃/100 mm（卧式）

升温速率：0–15 ℃/min 可编程

冷却方式：自然冷却+快速充气冷却（Ar）

炉内气氛：真空 5×10?? Pa 或 Ar 20–100 kPa

使用要点

发热管寿命

灰分、硫分越低寿命越长；建议选用灰分<50 ppm的等静压石墨。

每200 h检查管壁“鼓泡”或“龟裂”，出现>1 mm裂纹即更换。

污染控制

在1800 ℃以上，石墨会向金属渗碳；对Fe-、Ni-基合金需加ZrO?或Y?O?涂层隔离。

定期在1000 ℃/真空下“空烧”除气，减少残余硫、磷对半导体材料的污染。

真空系统匹配

抽速≥15 L/s（对φ100 mm×500 mm炉管），保证升温前真空<1×10?3 Pa。

若频繁开关炉，建议选低温泵+干泵组合，避免油返流。

安全

2000 ℃以上石墨挥发显著，务必在炉壳上部加“石墨粉尘过滤器”。

炉壳压力≥0.15 MPa 时安全阀自动开启，防止Ar充气过压。

真空石墨碳管炉以“石墨发热管+石墨毡保温”构建2000 ℃级超高温环境，兼具成本低、温场均匀、工艺灵活的特点，是陶瓷烧结、难熔金属处理、石墨提纯等场景的常用高温电炉。