高温钼带加热真空炉:高真空钼带加热炉-洛阳高温实验电炉厂家-洛阳赛特瑞智能装备

高温钼带加热真空炉:高真空钼带加热炉

高温钼带加热真空炉

高温钼带加热真空炉包括:筒体、隔热屏、隔热屏的表面设置于筒体的内部;基座,基座的表面贯穿于筒体的底表面;筒体,筒体的表面贯穿于基座和隔热屏的表面,位于打孔钼筒体隔热屏的内部的表面设置有陶瓷垫片;加热带陶瓷固定组件,加热带固定组件的表面通过紧固钼螺母固定于隔热屏的内侧。

高温钼带加热真空炉加热带组件采用钼镧高温钼合金在长期高温1800℃左右环境下使用不变脆,加工性能也很好,主要用于对纯度要求比较严格的高温环境,现有的加热组件用的是纯钼板,它与高温钼相比,再结晶温度低,易脆断,加工性差,实用性较差。


高温钼带加热真空炉是一种以高纯钼带为发热元件的真空电阻炉,通过抽真空或充入保护气氛,在高温(1000~2000℃)下实现材料的无氧化热处理或烧结。其核心优势在于高真空环境(10-3~10-4 Pa)和钼带的高熔点特性(熔点2620℃),适用于对纯度、温度均匀性要求极高的工艺。

应用领域

材料制备:高温合金、陶瓷(如氮化铝)、硬质合金的真空烧结。

金属处理:钛合金、钨/钼合金的退火、除气、钎焊。

半导体:硅片的退火、扩散工艺,避免杂质污染。

主要技术参数

参数 范围 STR MSF322-16型号
最高设计温度 1300~2000℃(取决于钼带规格) 1600℃
冷态极限真空度 6.7×10⁻³~10⁻4 Pa(空炉净化后) 6.7×10⁻³ Pa
升温速率 1~20℃/min(低温段更快) ≤1600℃时1~10℃/min
温度均匀性 ±5℃(5点测温,恒温区检测) ±5℃(1000℃保温1h后)
加热功率 30~50kW(根据炉膛尺寸调整) 45kW
炉膛尺寸 可定制(如200×200×300mm) 200×200×300mm(W×H×D)
可充气氛 氮气/氩气/氢气(需防爆设计) 氮气/氩气



结构特点

加热系统

钼带发热体:绕制成圆筒形或平板形,均匀分布于多层金属隔热屏(钼+不锈钢)内侧,通过低电压大电流供电(如10V/500A),避免高温氧化。

多温区设计:独立控温,补偿边缘散热,确保±5℃均匀性。

真空系统

三级泵组:机械泵(粗抽)+ 扩散泵(高真空)+ 分子泵(可选超高真空),极限真空度达10?? Pa。

密封结构:炉门采用磨口法兰+硅橡胶圈,动态压头用波纹管密封防漏气。

炉体设计

卧式侧开门:便于装卸物料,炉壳为双层水冷不锈钢,表面温度≤50℃。

模块化隔热层:钼屏+陶瓷纤维复合结构,减少热辐射损失。

控制系统

HMI+PLC+PID程序控温,支持20段工艺曲线存储,具备超温报警、断偶保护功能。

使用注意事项

升温与降温

分段升温:先以5℃/min升至800℃,再降至2℃/min至目标温度,避免钼带热应力开裂。

冷却阶段:需通入惰性气体(如氩气)至2~10 bar压力,启动风扇强制冷却,防止石墨/钼件氧化。

真空操作

预抽真空:先启动机械泵至5 Pa,再切换扩散泵,避免油蒸气污染。

防污染:处理含碳材料(如石墨模具)时,需定期清理炉内积碳,防止钼带脆化。

安全规范

氢气使用:若通氢气,需加装防爆装置和氧含量检测仪(<3%)。

钼带维护:每运行100次检查钼带电阻值变化(超过10%需更换),避免局部过热熔断。

使用环境要求

环境温度 5~40℃,湿度<60% RH,无腐蚀性气体。

电力供应 380V±10%,三相五线制,接地电阻<4Ω。

冷却水质 纯净水或去离子水,流量≥15L/min,防止水垢堵塞。

安装空间 预留≥1.5m检修通道,避免振动源(如冲床)。

高温真空炉是按照国家真空标准设计,炉门的开启、关闭、锁紧操作简单、灵活、安全可靠,炉壳为圆形,双层水冷夹套结构(内、外筒体均为304不锈钢材料),接管采用不锈钢材质。系统在出厂前均经过严格的气压及真空试验,能够确保设备在长期使用过程中保持压升率小于2.0Pa/min。系统配有防止气体过压力排气保护装置,气体压力超过设定压力时直接机械式排出,炉体上下含有法兰接口,与力学实验机对接(接口以实际为准)炉子门垂直方向自动感应打开和关闭结构,含有相应限位和报警功能。
高温炉腔体采用圆筒形加热室结构,多层屏采用迷宫式隔热结构,能够有效保证保温效果。发热体为优质高温钼镧合金带,均布在圆周方向上,以实现良好的温度均匀性。保温层采用3层高温不锈钢,做反射屏,这样能够保证气氛纯净以及保温性能,加热带固定绝缘件采用优质陶瓷,电极引出结构为紫铜电极,绝缘结构为氧化铝陶瓷(能够避免热处理过程中材料挥发造成短路而烧毁电极),加热室外框使用304不锈钢板材料,并且焊接保证长期使用不变形,考虑设备内胆的简便安装性,真空电极采用的是KF真空电极结构,拆卸电极方便,内胆的发热体导线可以拉倒炉体外拆卸,大大方便使用者的拆卸。



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