超高温氧化炉

超高温氧化炉是一种用于高温氧化工艺的设备，广泛应用于半导体、材料科学、陶瓷烧结、航空航天等领域。：支持真空、氧化气氛、惰性气氛等多种环境。适用于多种材料和工艺，如SiC、GaN的高温氧化，以及硅片的干氧氧化、湿氧氧化等。
应用领域
半导体行业：用于化合物半导体、衬底材料的高温氧化工艺。
材料科学：用于金属陶瓷、复合陶瓷材料的烧结。
航空航天：用于高温合金的热处理。

科研领域：用于高温氧化实验和材料性能研究。

1400氧化环境高温炉采用硅碳棒加热，氧化铝陶瓷纤维炉；

1700氧化环境高温炉采用硅碳棒加热，多晶氧化铝陶瓷纤维炉；

2000℃超高温氧化锆电炉.
氧化锆高温感应炉是以氧化锆材料为发热体的一种新型炉体.可以在1600～2200℃的高温范围内在空气或氧化气氛中使用.