普法涡轮分子泵由高速旋转的涡轮和固定的分子泵腔室组成。涡轮叶片旋转时,通过与气体分子的碰撞将气体分子引入分子泵腔室,并不断地压缩和抽排气体。随着分子泵腔室内外压差的扩大,气体分子被抽入涡轮旋转区域,被不断加速和扩散,直到被排到大气中。由于气体分子在泵的过程中不与泵的材料接触,因此普法涡轮分子泵对气体具有高效的排放和气体无沾附的特点。
Pfeiffer 经济型分子泵组 HiCube Eco 紧凑设计高性能,前级泵配备隔膜泵保证清洁无油,分子泵可选Hipace 80。分子泵组极限真空度最低 < 1x10-6 Pa。此款泵组是众多小型镀膜仪 蒸镀仪 真空无油环境应用的
控制方式 |
手动一键启动 |
前级泵 |
隔膜泵 无油干泵 |
前级泵抽气速率 |
0.9m³/h |
前级泵极限压强 |
≤50Pa |
分子泵 |
HiPace 80 90000转/分 |
分子泵抽气速率 |
67L/S |
分子泵启动时间 |
≤2min |
空载极限压强 |
≤1X10-6Pa |
真空测量范围 |
5到1E-7Pa |
抽气接口 |
KF25 |
系统电源 |
AC220V |
系统功率 |
600W |
环境温度 |
5~32℃ |
冷却方式 |
强制风冷却 |
湿度 |
≤80% |
噪音 |
<60分贝 |
外形尺寸 |
300 X300 X 350mm |
重量 |
18KG |
随机配件:KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X1个 kf25不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 |
西德普法伊费尔公司
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