复合分子泵机组
复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。
复合分子泵机组用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等
技术参数：
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控制方式 |
手动人机界面控制 |
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前级泵接口 |
KF25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵） |
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分子泵 |
FF-100-150 51000转/分 |
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分子泵抽气速率 |
140L/S |
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分子泵启动时间 |
≤2min |
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空载极限压强 |
≤1X10-4Pa |
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真空测量方式 |
冷阴极标准规管 |
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真空测量范围 |
1E﹢2到1E-5 Pa |
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真空测量精度 |
1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数 重复性： ±5% |
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抽气接口 |
KF25 |
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阀门类型 |
KF25手动挡板阀 |
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系统电源 |
AC220V |
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系统功率 |
≤750W |
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环境温度 |
5~32℃ |
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冷却方式 |
强制风冷却 |
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湿度 |
≤80%RH |
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外形尺寸 |
250 X360 X 300mm （宽-深-高） |
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重量 |
25KG |
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随机配件： KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X3个 kf25-1米不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 冷阴极真空计X1个 |
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