3路供气系统：1路质子与2路浮子
3路供气系统为实验室用小型多路气体混气设备
该3路供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。
本配比器适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观，实用，操作简便。流量显示准确，可有效地控制气体消耗量。所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。此款设备与STR的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
3路供气系统技术参数
| 产品型号 | STR-GM-1Z-2F3路供气系统 | |
| 浮子流量计 |
10-100ml/mi n 16-160ml/min 25-250ml/min （浮子流量计的量程可根据用户需要选订） |
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| 质量流量控制器 | 工作电压： | 185~245V 50HZ |
| 最大输出功率： | 18W | |
| 流量计标准量程： | 100sccm、200sccm、500sccm （非特殊指定以氮气标定，量程可选） | |
| 工作温度： | 5~45℃ | |
| 工作压差： | 0.1~0.5MPa | |
| 最大压力： | 3MPa | |
| 准确度： | ±1.5% FS | |
| 机械压力表 | 测量范围： | -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
| 针阀 | 316不锈钢 | |
| 混气罐 | Φ80×120mm | |
| 截止阀 | Φ6mm 316不锈钢针阀 | |
| 尺寸 | 600×600×650 mm | |
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