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供气系统：3路质子触摸屏控制
触摸屏控制3路质子供气系统是由洛阳西格马高温电炉生产的一款多路质量流量计控制系统， 3路质子供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
3路质子供气系统又称3路质子混气系统，可控制三种气体流经真空密封管式炉内，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。
1、气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
2、混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3、每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
4、该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
5、所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。
6、供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。
| 名称 | 西格马多通道质子流量计控制系统 | |||
| 气路数 | 双通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
| 质子流量控制器 |
工作温度：5~45℃ 额定压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：1~199 SCCM 二路：1~499 SCCM |
工作温度：5~45℃ 额定压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM |
工作温度：5~45℃ 额定压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM |
工作温度：5~45℃ 额定压力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重复精度：±0.2%F.S. 流量范围： 一路：0~50 SCCM 二路：1~100 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~199 SCCM 五路：1~499 SCCM |
| 定制 | 可定制其他流量范围与气炉数 | |||
| 输入电源 | AC 220V/50Hz 单相 | |||
| 功率 | 23W | |||
| PLC触摸屏 |
各通道的气路设定和查看都集中在—6”的触摸屏上。 RS485通讯接口和PC控温软件可连接到电脑上，进行远程控制。 |
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| 机械压力表 |
有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接。 量程：0.1~0.15MPa（0.01MPa/grid） |
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| 针阀 | 316不锈钢 | |||
| 通气管道 |
内部连接管道为1/4”不锈钢管。 外部通气管道为1/4”聚四氟管。 |
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| 混气罐 | Φ80×120 mm | |||
| 截止阀及配件 |
316不锈钢针阀。 Φ1/4”不锈钢管 |
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| 外形尺寸 | 600L×750W×700H mm | |||
| 可认证 | CE认证 | |||
| 质保期 | 一年质保期，终身维护。 | |||
| 相关产品 | CVD&PECVD 管式炉 | |||
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