5路质子气体配比器：5路质子混气供气系统
小型气体配比器又称气体混合配比器、小型气体浓度配比器，小型气体配比器分为浮子气体配比器、质子气体配比器。
SGM-GM-5Z质子气体配比器为实验室用小型5路质子供气系统 ，该5路质子供气系统是一种可控制五种气体按不同流量进行混合配比。质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与SGM的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
主要技术参数
| 设备名称 | 5路质子供气系统 | |
| 设备型号 | SGM-GM-5Z | |
| 质量流量控制器 | 工作电压： | 185~245V50HZ |
| 最大输出功率： | 18W | |
| 流量计标准量程： | 50sccm，100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选） | |
| 工作温度： | 5~45℃ | |
| 工作压差： | 0.1~0.5MPa | |
| 最大压力： | 3MPa | |
| 准确度： | ±1.5%FS | |
| 机械压力表 | 测量范围： | -0.1~0.15MPa（0.01MPa/grid） |
| 针阀 | 316不锈钢 | |
| 混气罐 | Φ80×120mm | |
| 截止阀 | Φ6mm”316不锈钢针阀 | |
| 尺寸 | 600×600×650mm | |
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