4路质子供气系统:SGM GM-4Z质子气体配比器
4路质子供气系统：SGM GM-4Z质子气体配比器 触摸屏控制
四路质子气体供气系统是一种用于精确控制和供应四种不同气体的设备，该小型气体配比器可应用于需要特定气体比例混合的科研场合。
4路质子供气系统包含四个独立的品质流量控制器，每个控制器负责一种气体的流量调节，确保精确的气体混合比例。
该4路质子供气系统是一种可控制四种气体按不同流量进行混合配比，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与SGM的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
主要技术技术参数：
| 设备名称 |
4路质子供气系统 |
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| 配置组件 |
SGM GM-4Z |
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| 质量流量控制器 | 工作电压： | 185~245V 50HZ |
| 最大输出功率： | 18W | |
| 流量计标准量程： | 100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选） | |
| 工作温度： | 5~45℃ | |
| 工作压差： | 0.1~0.5MPa | |
| 最大压力： | 3MPa | |
| 准确度： | ±1.5% FS | |
| 机械压力表 | 测量范围： | -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
| 针阀 | 316不锈钢 | |
| 混气罐 | Φ80×120mm | |
| 截止阀 | Φ6mm”316不锈钢针阀 | |
| 尺寸 | 600×600×650 mm | |
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