3路质子供气系统 ：GMF-3Z气体配比器
3路质子供气系统 ：GMF-3Z气体配比器
3路质子供气系统又称GMF-3Z气体配比器。3路质子气体配比器是一种用于精确控制和混合多种气体流量的设备，广泛应用于需要特定气体比例混合的环境中，如真空管式炉、气氛炉。路质子气体配比器具备多个气体测量计和控制范围，气路管道通常采用304不锈钢材质，气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头，方便连接且不易泄漏，确保系统的密封性和耐用性。
该3路质子供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。此款设备与SGM的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
应用范围：
该3路质子气体配比器主要用于气体流量测试，并能够按比例混合气体，为真空管式炉或气氛炉营造特定要求的气氛环境。
主要技术参数
| 设备型号 | GMF-3Z | |
| 质量流量控制器 | 工作电压： | 185~245V 50HZ |
| 最大输出功率： | 18W | |
| 流量计标准量程： | 100sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选） | |
| 工作温度： | 5~45℃ | |
| 工作压差： | 0.1~0.5MPa | |
| 最大压力： | 3MPa | |
| 准确度： | ±1.5% FS | |
| 机械压力表 | 测量范围： | -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
| 针阀 | 316不锈钢 | |
| 混气罐 | Φ80×120mm | |
| 截止阀 | Φ6mm”316不锈钢针阀 | |
| 尺寸 | 600×600×650 mm | |
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气体混合配比器原理：
气体混合配比器（也称为气体混配器或气体配比柜）是一种用于精确混合不同气体的设备，气体混合配比器采用动态气体混合法，即混即用，这保证了混合气体的均匀性和复现性。两元或多元需要混合的气体首先经过单向阀进入两级或多级压力平衡装置，平衡输入压差，确保混合前组分气体和稀释气体的压力绝对相同。过调节流量控制阀，可以根据希望达到的混气比例对各种气体的流量进行调定。
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